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探針臺測試系統是怎樣工作的
探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上,該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。
機械手放置在平臺的平面上,并在機械手中插入探針臂和jian端。探頭jian端必須適合要執行的測試程序。然后,用戶通過調整相應的操縱器將探針jian端**定位在設備內的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸;現在可以測試該設備。對于具有多個器件的晶圓,在測試di一個器件后,可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動到下一個器件。重復定位探針jian端的過程,直到測試完所有必需的設備。這個過程都可以由操作員手動完成,但如果載物臺和機械手是電動的,并且顯微鏡連接到計算機視覺系統,那么這個過程可以變成半自動或全自動。這可以提高探針臺的生產力和吞吐量,并減少運行多個測試所需的勞動力。
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探針臺分為哪幾類
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高低溫探針臺的工作原理及其構造
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